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不活性ガス精製装置

不活性ガス精製装置の概要

高純度不活性ガス精製装置は、グローブボックスまたは、密封されたチャンバーと接続され、酸素及び水分濃度を1ppm以下にする能力を持っております。チャンバーの大きさにあわせて各種不活性ガス精製装置が用意されており、チャンバーの大きさは問いません。

また、製造用不活性ガス精製装置として全自動高純度不活性ガス精製装置も用意されてお入ります。これら精製装置にはタッチパネル方式のPLC制御系が標準装備されており、自動的にボックス内の圧力制御を行う機能も装備されております。


	高純度不活性ガス精製装置


	全自動高純度不活性ガス精製装置（IGMS）


	高圧ガス精製装置


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